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平板顯示凈化解決方案

先進的生產方法通常要求非常潔凈的空氣環境,很多情況下,空氣要求還可能更加嚴格。LED和薄膜晶體管彩色液晶顯示器(TFT-LCD) 的生產工藝較復雜,技術難度和成本均較高,對生產環境要求也較高,其工藝過程薄膜晶體管有矩陣工藝與大規模集成電路生產工藝相似;

平板顯示的特點是:這種顯示的裝置本身就是一塊平板,沒有一般顯示器中的電子束管,作為大屏幕顯示時不存在投射距離問題,因此,是一種比較理想的顯示。由于它多采用矩陣控制,所以又叫做矩陣控制平板顯示或簡稱為矩陣顯示。它所控制的顯示材料有:場致發光材料、發光二極管、等離子、液晶等。

平板顯示的生產工藝對環境的空氣潔凈度等級、溫濕度、防微振和高純物質的供應等均有較嚴格的要求:生產環境要有一萬級到十萬級的凈化車間,并且對溫度和濕度都有明確控制;各潔凈室空氣潔凈度等級:控制粒子粒徑為0.3μm。

 

污染物

來源

引發問題

解決方案

粉塵、 微細鹽粒子

空氣

造成光學鏡片霧

潔凈室HVAC系統的新風機組加化學過濾功能段,在FFU加化學濾網

 

部分成交客戶

 

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